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Granted (US)
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Pending (US)
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Granted (S. Korea)
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Pending (S. Korea)
Patent (International)
1.(Granted) METHOD AND APPARATUS FOR FORMING THIN OXIDE
Hyungjun Kim and Taewook Nam
Patent (Domestic)
1. (Granted) 속력을 측정하는 공 및 그 방법
(BALL MEASURING THE VELOCITY OF THE BALL AND THE METHOD THEREOF)
이상훈, 한성권, 남태욱, 방경석, 유철, 박수혜
2. (Granted) 원자층 증착법을 이용한 갈륨 산화물 나노선을 형성하는 방법
(FORMING OF GALLIUM OXIDE NANOWIRE USING ATOMIC LAYER DEPOSITION)
김형준, 남태욱
3. (Granted) 산화물 박막 형성 방법 및 산화물 박막 형성 장치
(THIN FILM SURFACE TREATMENT)
김형준, 남태욱
4. (Granted) 아미노실란계 전구체 기반의 소수성 박막 형성 방법
(FORMING METHOD FOR HYDROPHOBIC THIN FILM BASED ON AMINOSILANE PRECURSOR)
김형준, 남태욱, 조병옥, 최윤정, 정헌종
5. (Granted) 두 가지 환원제를 이용한 박막 증착 방법 및 이의 박막 증착 구조
(METHOD FOR DEPOSITING THIN FILM USING TWO TYPE OF REDUCING AGENTS AND THIN FILM DEPOSITION STRUCTURE THEREOF)
김형준, 남태욱, 이유진
6. (Granted) 저온 원자층 증착법 기반의 영역 선택적 소수성 박막 증착 방법 및 장치
(METHOD AND APPARATUS FOR AREA SELECTIVE DEPOSITION OF HYDROPHOBIC THIN FILM BASED ON LOW TEMPERATURE ATOMIC LAYER DEPOSITION)
김형준, 남태욱
7. (Granted) 원자층 증착 기반의 박막 내 인위적 조성 조절을 통한 고효율 수소 차단 제어막 형성 방법
(METHOD FOR FORMING HIGH-EFFICIENCY HYDROGEN BARRIER CONTROL FILM THROUGH ARTIFICIAL COMPOSITION CONTROL IN THIN FILM BASED ON ATOMIC LAYER DEPOSITION)
김형준, 남태욱, 이유진
8. (Pending) 유기 금속 화합물 제조방법 및 이의 방법으로 얻어진 유기 금속 화합물을 이용한 박막
(METHOD OF SYNTHESIZING ORGANOMETALLIC COMPOUND AND THIN FILM USING THEREOF)
서진형, 박미라, 석장현, 박정우, 김형준, 남태욱, 이유진
9. (Pending) 박막 표면 처리 방법
(METHOD AND APPARATUS FOR FORMING OXIDE THIN FILM)
김형준, 남태욱